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十三五國家02科技重大專項 “20-14nm先導產品工藝開發”項目 2021-02-27     總瀏覽:2137

十三五國家02科技重大專項

“20-14nm先導產品工藝開發”項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。


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