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  • 國家高技術研究發展計劃(863計劃)

    國家高技術研究發展計劃(863計劃)引導項目“超大規模集成電路制造用鋁和鉭濺射靶材產業化關鍵材料技術研究”項目,列入國家高技術研究發展計劃(863計劃)引導項目..

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  • 十二五國家02科技重大專項

    “45-28nm配線用超高純系列濺射靶材的開發與產業化”項目,列入國家科技部極大規模集成電路配套設備與工藝重大專項(02重大專項)。

    更多 2015-02-05

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